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微型真空泵更多
微型干式真空泵是一種真空泵，因?yàn)樗墙K身免維修。微型無(wú)油干機(jī)械真空泵(也稱為干式機(jī)械泵)，意味著泵可以從大氣壓力下抽出空氣，并將空氣泵直接排入大氣，泵的極限壓力與油封真空泵相同。
目前，真空工業(yè)中使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是油、水或其他聚合物作為泵的工作介質(zhì)。在泵中起到冷卻、密封、潤(rùn)滑等作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和真空應(yīng)用的擴(kuò)大，原機(jī)械真空泵及其泵送系統(tǒng)存在著兩個(gè)亟待解決的問(wèn)題。
首先，微型干式真空泵的工作介質(zhì)返回污染被容器吸收，在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量，提高了設(shè)備的維護(hù)成本。第二，由于一些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)對(duì)真空泵中的介質(zhì)進(jìn)行了嚴(yán)重的變質(zhì)，泵不能正常工作。
微型干式真空泵廣泛應(yīng)用于以下幾個(gè)方面：
1、低壓化學(xué)氣相沉積多晶硅制備技術(shù)。
2、半導(dǎo)體蝕刻過(guò)程。在這些生產(chǎn)過(guò)程中，常用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和研磨顆粒。
3、除了半導(dǎo)體技術(shù)之外，一些微粒技術(shù)不想將顆粒混合到泵油中，希望顆粒會(huì)從泵中排出。采用一定類型的干式機(jī)械真空泵滿足要求。
4、蒸餾、干燥、脫泡包裝等應(yīng)防止有機(jī)溶劑污染，適用于微型干式真空泵。
5、用作無(wú)油清洗真空系統(tǒng)的先導(dǎo)泵，防止油污染。
| 型號(hào) |
電壓 (V DC) |
負(fù)載電流 (A) |
功率 (W) |
峰值流量(L/min) | 真空度(abs.) |
負(fù)壓 (相對(duì)壓力) |
體積 (MAX外形尺寸) (mm) |
重量 (g) |
||
| 三種單位換算值 | ||||||||||
| KPa | mmHg | mbar | KPa | |||||||
| PC4020N | 12 | <1.2 | <14.4 | 20 | 40 | 300 | 400 | -60 |
156×64×72 |
1000 |
| 24 | <0.65 | <15.6 | ||||||||
|
PC3025N |
12 | <1.6 | <19.2 | 25 | 30 | 225 | 300 | -70 | 156×64×72 | |
| 24 | <0.8 | <19.2 | ||||||||
| 對(duì)比：標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 | 101 | 760 | 1013 |
|
||||||
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