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水環(huán)羅茨真空泵
多級(jí)羅茨真空泵
氣冷羅茨真空泵
三葉羅茨真空泵內(nèi)包含兩個(gè)三葉型的轉(zhuǎn)子,由一對(duì)高精度的同步反向旋轉(zhuǎn)齒輪來(lái)驅(qū)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子在泵腔中旋轉(zhuǎn)120°,就可以完成一次吸、排氣。漸開(kāi)線型三葉轉(zhuǎn)子在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),互不接觸還能保持一個(gè)恒定的間隙。不僅能夠和多種前級(jí)泵配套使用,也可以根據(jù)作工需要選擇風(fēng)冷、水冷方式以及其他的密封形式。
和常規(guī)的二葉型羅茨泵相比,三葉羅茨真空泵的抽氣效率、最大允許壓差、溫升、振動(dòng)、噪聲等關(guān)鍵性指標(biāo)都有明顯的提升和技術(shù)優(yōu)勢(shì)。高精度齒輪傳動(dòng)和精密軸承支承整體運(yùn)轉(zhuǎn),達(dá)到了噪聲低、運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)的效果,即使在低入口壓力下,也能支持一個(gè)較大的抽氣速率。
1、提高真空泵的容積效率
如果把羅茨真空泵葉輪上的兩個(gè)葉片和泵殼形成的葉間容積當(dāng)作工作容積,可以說(shuō)是其工作容積有阻隔抽氣口、排氣口的作用,不過(guò)只有在微小的角度范圍內(nèi)該工作容積才會(huì)保持封閉,所以阻隔作用不大,三葉羅茨真空泵的工作容積可達(dá)60°封閉旋轉(zhuǎn),阻隔效果明顯。在間隙大小和其他工作因素相同的條件下,三葉羅茨真空泵的內(nèi)泄漏流量比二葉羅茨真空泵更小,基圓容積也會(huì)比二葉羅茨真空泵小。因此三葉羅茨真空泵具有更高的容積效率。
2、氣流脈動(dòng)小,振動(dòng)輕,噪聲低
將二葉型改為三葉型,有效容積從二等分改為三等分,就可以有效降低排出氣體時(shí)的壓力脈動(dòng)。三葉葉輪的氣體是從排氣側(cè)的葉輪間隙回流到進(jìn)氣側(cè)的內(nèi),因此其泄漏流量很小,對(duì)氣體的擾動(dòng)較小,可以進(jìn)一步降低壓力脈動(dòng)。
三葉羅茨真空泵的葉間容積比二葉羅茨真空泵小,能夠減少霍而姆共振效應(yīng),減小氣體逆流壓縮時(shí)產(chǎn)生的強(qiáng)空氣沖擊。由于羅茨真空泵的主要噪聲源和振動(dòng)源就是壓力脈動(dòng)和空氣沖擊,所以三葉羅茨真空泵可以有效的降噪減振。
3、提高真空泵的可靠性和極限真空度
由于三葉羅茨真空泵葉輪和二葉葉輪子在結(jié)構(gòu)上的差異,因此三葉轉(zhuǎn)子的力學(xué)性能基本都比二葉轉(zhuǎn)子更好。在葉輪大小和真空度相同的條件下,三葉轉(zhuǎn)子可以承受的最大合力基本可以達(dá)到二葉轉(zhuǎn)子的80%左右,三葉轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)剛性好于二葉轉(zhuǎn)子,所以在保證葉輪與泵殼、葉輪之間的間隙比二葉轉(zhuǎn)子更具優(yōu)勢(shì)。
| 型號(hào) | 抽氣速率(L/S) | 極限壓力(Pa) | 最大允許壓差(Pa) | 配用功率(KW) | 轉(zhuǎn)速(rpm) | 進(jìn)氣口(mm) | 排氣口(mm) | 總量(kg) | 推薦前級(jí)泵 |
| ZJ-70 | 70 | ≤0.05 | ≥1.2*104 | 1.5 | 2900 | 80 | 50 | 58 | 2x-15 |
| ZJ-150 | 150 | ≤0.05 | ≥1.2*104 | 3 | 2900 | 100 | 80 | 136 | 2x-30 |
| ZJ-300 | 300 | ≤0.05 | ≥1*104 | 4 | 2900 | 150 | 100 | 231 | 2x-70 |
| ZJ-600 | 600 | ≤0.05 | ≥8*103 | 5.5(7.5) | 2900 | 200 | 150 | 485 | ZJ-150 2X-30 |
| ZJ-1200 | 1200 | ≤0.05 | ≥6*103 | 11 | 2900 | 250 | 200 | 860 | ZJ-300 2X-70 |
| ZJ-2500 | 2500 | ≤0.05 | ≥5*103 | 18.5 | 2900 | 350 | 250 | 1550 | ZJ-600 H-150 |
| ZJ-5000 | 5000 | ≤0.05 | ≥4*103 | 37 | 1450 | 400 | 350 | 3200 | ZJ-1200 H-150 |
| ZJ-10000 | 10000 | ≤0.05 | ≥3*103 | 55 | 1450 | 500 | 400 | 5800 | ZJ-1200 H-150 |
| ZJ-20000 | 20000 | ≤0.05 | ≥3*103 | 110 | 1450 | 600 | 500 | 12000 | ZJ-1200 H-150 |
●高轉(zhuǎn)速、容積率高、低溫升、小振幅。
●結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作、維護(hù)方便、運(yùn)行可靠。
●轉(zhuǎn)子固定無(wú)軸向串動(dòng)、故障率低。
●采用O型圈密封所有平面靜密封,支持反復(fù)拆裝。
●端蓋密封有機(jī)械密封、骨架、活塞環(huán)和迷宮密封等多種方式。
三葉羅茨真空泵一定要和前級(jí)真空泵配套使用,配置不同的前級(jí)泵后,各項(xiàng)性能指標(biāo)會(huì)變化。在需要大抽速和粗、中真空(103-10-2Pa)的真空系統(tǒng)中一般都會(huì)使用三葉羅茨真空泵,主要常見(jiàn)的應(yīng)用項(xiàng)目包括真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干噪、真空蒸餾等等。
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